高純氣體使用的管道必須具有的特性分析
發(fā)布日期：2024-07-06 關(guān)注次數(shù)：345
1. 氣體浸透性。對(duì)于運(yùn)送ppm級(jí)及更高純度要求的氣體，從氣體浸透視點(diǎn)有必要選用不銹鋼管或許鋼管。如果不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道資料，那么，不管采取什么凈化手法，都將是無濟(jì)于事的。
2. 出氣速率。資料冶煉過程形成的管道資料晶間或許晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳?xì)浠衔锏龋诟呒儦怏w運(yùn)送過程中，這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
3. 吸附性。由于水分等雜質(zhì)是極性分子，吸附性很強(qiáng)。橡膠、塑料或一些外表粗糙的資料極易吸附水分等雜質(zhì)，銅材對(duì)水吸附性極強(qiáng)，運(yùn)用這些資料運(yùn)送高純氣體易被污染。除了運(yùn)送ppm級(jí)以下的氧氣會(huì)運(yùn)用紫銅管外，高純氣體都不選用銅管和塑料管。氣體會(huì)接觸到的墊片、填料也不得選用橡膠、塑料資料(包括聚四氟乙烯)。
4. 外表粗糙度和耐磨性。為了確保運(yùn)送的氣體純凈度，要求管道資料內(nèi)外表有一個(gè)極高的亮光度，這樣能夠防止污染粒子及濕氣在管壁滯留。管材比較亮光而且耐磨，能夠在氣流高速?zèng)_刷下發(fā)生金屬粒子較少，不銹鋼比銅管發(fā)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
5. 抗腐蝕性。微電子生產(chǎn)中經(jīng)常運(yùn)用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體。這時(shí)有必要選用耐腐蝕的管材否則管道會(huì)被腐蝕輕則外表發(fā)生銹斑重則管道大面積脫落、穿孔不但污染氣體還會(huì)發(fā)生安全事故。
2. 出氣速率。資料冶煉過程形成的管道資料晶間或許晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳?xì)浠衔锏龋诟呒儦怏w運(yùn)送過程中，這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
3. 吸附性。由于水分等雜質(zhì)是極性分子，吸附性很強(qiáng)。橡膠、塑料或一些外表粗糙的資料極易吸附水分等雜質(zhì)，銅材對(duì)水吸附性極強(qiáng)，運(yùn)用這些資料運(yùn)送高純氣體易被污染。除了運(yùn)送ppm級(jí)以下的氧氣會(huì)運(yùn)用紫銅管外，高純氣體都不選用銅管和塑料管。氣體會(huì)接觸到的墊片、填料也不得選用橡膠、塑料資料(包括聚四氟乙烯)。
4. 外表粗糙度和耐磨性。為了確保運(yùn)送的氣體純凈度，要求管道資料內(nèi)外表有一個(gè)極高的亮光度，這樣能夠防止污染粒子及濕氣在管壁滯留。管材比較亮光而且耐磨，能夠在氣流高速?zèng)_刷下發(fā)生金屬粒子較少，不銹鋼比銅管發(fā)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
5. 抗腐蝕性。微電子生產(chǎn)中經(jīng)常運(yùn)用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體。這時(shí)有必要選用耐腐蝕的管材否則管道會(huì)被腐蝕輕則外表發(fā)生銹斑重則管道大面積脫落、穿孔不但污染氣體還會(huì)發(fā)生安全事故。
